概述
Literature

半导体-电子工业产品

超纯水专用 Purolite 离子交换树脂专为满足电子工业对晶圆和微芯片生产的精准性需求而制造。这些需求需要水质尽可能达到最高水平(总有机碳(TOC) <1 ppb,电阻率 >18.2 MΩ·cm ,冲洗次数最少),同时在首次安装离子交换树脂时,不会对高纯回路造成污染。

所有UltraClean™树脂都经过处理,以去除生产后遗留在离子交换树脂上的有机残留物。它们以 H+ 和 OH- 的形式高度再生。对于可再生服务去离子作用 (SDI),便携式交换 (PE) 或管匣系统,用 30-40 床体积 (BV) 或更少量的液体冲洗后的 TOC 读数必须小于 10 ppb,建议使用 UltraClean UCW3900、 UltraClean UCW3700、 UltraClean UCW3600。

半导体-电子工业 按应用分类的产品

● 分类列表 - 大孔型强酸性阳离子交换树脂